実験装置 デバイス実験部屋 クリーンルーム 合成実験部屋 低温実験部屋 2. クリーンルーム レーザーエッチング装置 フォトリソグラフィー装置 真空蒸着装置１ 真空蒸着装置２ 半導体パラメータアナライザ 半導体パラメータアナライザスイッチングマトリクス (左)光学顕微鏡 (右)偏光顕微鏡 実体顕微鏡 膜厚測定装置 インクジェット装置 デシケーター デシケーター 有機単結晶育成装置 ドラフト
