クリーンルーム内で基板洗浄

デバイスを作製する前に基板をしっかり時間をかけて洗浄することが、正しくデバイス特性を評価するためにはとても重要です。洗浄が不十分だと、わずかな不純物がデバイス特性に大きく影響を及ぼすためです。

こちらは、有機溶媒のアセトンの中に基板を浸し、超音波をかけて洗浄しているところです。この後、エアガンで溶媒を吹き飛ばします。この工程によって表面が清浄化された基板を蒸着に用います。