蒸着機で半導体の薄膜形成

蒸着機

蒸着機とは、トランジスタの電極となる金や有機半導体を真空中で加熱し、気化した材料を使って基板上に薄膜を形成する装置です。

金の蒸発が始まる温度は約1000度という高温。さらに、効率よくムラなく基板に膜が作れるよう、容器内を1億分の1気圧以下という高真空にして蒸着がおこなわれます。この「真空蒸着法」によって、膜の厚さが自在に調整できるのです。

この装置で作製された有機半導体膜や電極を使って、電子の動きやすさを評価し、次なる課題へと向かいます。