実験装置 デバイス実験部屋 クリーンルーム 低温実験部屋 1. デバイス実験部屋 グローブボックス 原子間力顕微鏡 (AFM) グローブボックス グローブボックス パリレン製膜装置 半導体パラメータアナライザ
