実験装置

  1. デバイス実験部屋
  2. クリーンルーム
  3. 低温実験部屋

2. クリーンルーム

レーザーエッチング装置

レーザーエッチング装置

フォトリソグラフィー装置

フォトリソグラフィー装置

真空蒸着装置1

真空蒸着装置1

真空蒸着装置2

真空蒸着装置2

半導体パラメータアナライザ

半導体パラメータアナライザ

半導体パラメータアナライザ+スイッチングマトリクス

半導体パラメータアナライザ
スイッチングマトリクス

(左)光学顕微鏡 (右)偏光顕微鏡

(左)光学顕微鏡 (右)偏光顕微鏡

実体顕微鏡

実体顕微鏡

膜厚測定装置

膜厚測定装置

インクジェット装置

インクジェット装置

デシケーター

デシケーター

デシケーター

デシケーター

有機単結晶育成装置

ドラフト

ドラフト