グローブボックス内でトランジスタ作製

グローブボックス

グローブボックス

竹谷研でおこなう実験の中には、酸素・水分との接触厳禁の環境下で進めなくてはならないものもあります。

このような作業の際は、まず密閉されたグローブボックス(写真:黒いゴム手袋状のパーツが出ている装置)内に不活性ガスのアルゴンを充填します。そして、装置に付随するゴム製のグローブに手を通し、透明のアクリル板越しにデバイス作製等の作業を進めます。

酸素や水などの不純物は、ボックス内に100万分の1(1ppm)以下。少しでも外気に触れれば、すべてやり直し。失敗がないよう、細心の注意を払って操作しています。