2013/05/30 / 最終更新日時 : 2014/01/13 manager Topics 蒸着機で半導体の薄膜形成 蒸着機とは、トランジスタの電極となる金や有機半導体を真空中で加熱し、気化した材料を使って基板上に薄膜を形成する装置です。 金の蒸発が始まる温度は約1000度という高温。さらに、効率よくムラなく基板に膜が作れるよう、容器内 […]
